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小型滑轨式PECVD系统本设备主要针对实验中试石墨烯生长和制备使用，同时该设备可以用于碳纳米管的生长。可制备出高质量的透明导电膜,用作手机触摸屏,平板电脑,智能穿戴,传感器等领域。
滑轨式PECVD加热腔体采用氧化铝纤维制品，其极低的热导率和比热容，保证了炉膛的快速升温和低蓄热，特别适合于科研单位的材料工艺研究。加热元件选用电阻丝加热，有利于炉内温度场的均匀分布。高温真空电阻炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统，控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控温，电力调制器控制；负载采用小电压大电流控制，从而大大提高了发热元件的寿命，测温元件采用K型热偶。采用单回路温控仪能够自整定PID 参数，无须操作人员的干预，可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号，同时系统设置了超温、欠温、断偶报警保护功能，大大降低了对操作人员经验的要求，关键电气元件采用优质的进口产品，做到高性能、免维护，提高了设备质量的可靠性。
1、加热系统
最高温度
1200℃
使用温度
≤1100℃
炉膛有效尺寸
Φ100mm（适用于2-3英寸样品，炉管直径可根据实际需要定制。）
炉膛材料
氧化铝、高温纤维制品
热电偶类型
K型热电偶
控温精度
±1℃
控温方式
30段可编程控温，PID参数自整定，操作界面为7”工控电脑，内置PLC控制程序。
加热长度
230mm
恒温长度
100mm
加热原件
电阻丝
供电电源
单相，220V，50Hz
2、PE射频电源
功率输出范围
0W~500W
最大反射功率
100W
射频输出接口
50 Ω, N-type, female
功率稳定度
≤5W
谐波分量
≤-50dbc
供电电压
单相交流（187V-253V） 频率50/60HZ
整机效率
>=70%
功率因素
>=90%
冷却方式
强制风冷
3、三路质子流量控制系统
连接头类型
双卡套不锈钢接头
标准量程（N2)
50sccm，100sccm、500sccm（可根据用户要求定制）
准确度
±1.5%F.S
线性
±1%F.S
重复精度
±0.2%F.S
响应时间
气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec
工作压差范围
0.1～0.5 MPa
最大压力
3MPa
接口
Φ6,1/4''
显示
4位数字显示
工作环境温度
5~45高纯气体
压力真空表
－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止阀
Φ6
内外双抛不锈钢管
Φ6
https://www.chem17.com/st235110/product_36409892.html
http://www.ahbeiyike.com/ParentList-684448.html
滑轨式PECVD