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日本东丽半导体用氧含量分析仪介绍：
血YANG定量计半导体、LCD 和电子元件相关应用用于半导体、电子元件的氧分析仪
MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860
血YANG仪 MS-500最多可同时测量 8 个点可以显示从ppm级到100的各种浓度。非常适合安装在半导体制造设备、真空设备等中。传感器直接插入（NW 法兰 16/25/40 用于真空）坚固耐用的传感器，带有特殊涂层，更耐用日本东丽半导体用氧含量分析仪MS-500 规格：测量原理氧化锆阴影电池供电形状分体式（换能器：壁挂式、传感器：直插式）显示方式数字 4 位显示（密度显示）测量范围0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20~10-0自动柜员机
自动量程重复性± 0.5%FS以下 0-1%范围或更高
±1%FS或小于0.1ppm ± 小于
0-1% 范围 0-1ppm，ATM范围超出浓度保证范围测量点数1~8样气条件压力10-3~200KPa（绝对压力）流量0.5~5,000mL/min或0mL/min（自发扩散状态的测量）湿度露点低于环境温度温度0~100°摄氏度其他不含腐蚀性气体（氟化气体、硫化物气体等）、含有机硅的气体、易燃成分（包括气体）、油或水。
http://www.bjkitazaki.cn/Products-38212757.html
https://www.chem17.com/st604628/list_2496798.html