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廊坊浩北化工有限公司

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桌上型成像仪
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产品: 浏览次数:7桌上型成像仪 
品牌: 桌上型成像仪
单价: 面议
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发货期限: 自买家付款之日起 3 天内发货
有效期至: 长期有效
最后更新: 2025-05-26 11:03
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详细信息

桌上型成像仪MSD-150D用于对显影均匀性和一致性要求较高的表面处理工艺,适合硅片、磷化铟、碳化硅、氮化镓等。主要应用于4、6寸晶圆及方片.适合高校、研究所和企业客户。

本司也提供8寸、12寸桌上型显影机,更多功能如吹气、背洗等请咨询。

桌上型成像仪技术规格:项目规格

主体外壳材质:镜面不锈钢

处理样品尺寸:6寸晶圆以内

承盘:PTFE

马达:

转速:20-3000 R.P.M

摇臂:自动

操作界面:7寸触摸屏

显影装置药液装置:

显影 x1(控温可选)

DIW  x1

控制系统系统: PLC

使用接口:7寸触屏

配方:手动和自动模式

编程 : 50 组 20 步

安全装置晶圆承盘真空渗液保护:真空检知:

数字设定:真空值下限保护

运行结束报警提示

附件真空泵x1

显影罐x1

去离子水罐x1

废液桶x1

真空吸盘x1

 

https://www.chem17.com/st649911/product_39172048.html

http://www.congone-elec.com/SonList-2576796.html


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