桌上型显影机MSD-150D用于对显影均匀性和一致性要求较高的表面处理工艺,适合硅片、磷化铟、碳化硅、氮化镓等。主要应用于4、6寸晶圆及方片.适合高校、研究所和企业客户。
本司也提供8寸、12寸桌上型显影机,更多功能如吹气、背洗等请咨询。
桌上型显影机技术规格:项目规格
主体外壳材质:镜面不锈钢
处理样品尺寸:6寸晶圆以内
承盘:PTFE
马达:
转速:20-3000 R.P.M
摇臂:自动
操作界面:7寸触摸屏
显影装置药液装置:
显影 x1(控温可选)
DIW x1
控制系统系统: PLC
使用接口:7寸触屏
配方:手动和自动模式
编程 : 50 组 20 步
安全装置晶圆承盘真空渗液保护:真空检知:
数字设定:真空值下限保护
运行结束报警提示
附件真空泵x1
显影罐x1
去离子水罐x1
废液桶x1
真空吸盘x1
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